工藝設備安裝&調試請找兆德(南通)電子科技有限公司。

兆德電子是由多名半導體專業人士牽頭組建，有豐富的從工藝設備安裝&調試、設備搬遷及人員管理等方面的經驗。熟悉各類半導體設備拆解、包裝、運輸、存儲、安裝、調試等各個環節，承接半導體設備相關業務。

半導體設備包含光刻、擴散、注入、濕法、干刻、薄膜、濺射、背蒸、減薄等區域設備。

(1)設備關機;

a)軟件關閉：確保Stage、robot home position Double check valve closed;

b)硬體關閉：手動閥門的關閉。Facility管道、閥門的斷開;

(2)設備拆機;

a) Facility： PV、電、氣斷開。并做相應記錄。包括管徑、流量、電壓、電流數據

b)易碎品拆除并作安全打包移機記錄;可活動stage、部件的相應固定。

c)機臺分離： I/0數據線mark后斷開;分離前機臺mark;

d)適用油壓板車與千斤頂對機臺分離工作進行緩沖，以確保機臺在拆機過程中不受任何外力影響;

(3)設備移機;

a )新區域marking：業主提供設備生產線新區域起始點我司進行所有機臺相應中心、邊框對準線

b )動線確認：與業主溝通確定設備在MOVE過程中之動線;并做PVC板鋪墊對機臺移機地板進行保護

c)機臺MOVE順序：優先原則確定

d )安全：避免機臺在移機過程中由于人為造成之震動、撞擊等損害;所有工程人員應守廠區施工行為規范

(4)設備安裝;

a )機臺初定位：按照地面marking

b )機臺精確定位：水平與位置精確調整

c )機臺內部連線：I/O線、電源線連接

d )機臺內部拆除件組裝：易碎品部件安裝

(5)設備調試;

a)確認facility條件滿足：PV CDA PN2以及電源連接并確認

b )開機：硬件電源開啟、操作系統開啟;確認氣動閥門、電磁閥門開關正常;sensor、Interlock正常;

c )ROBOT/STAGE match 包括正常歸位，進、出片位置正常;精度達標。

d )流片測試：按正常生產進行run貨。

兆德（南通）電子科技有限公司是專業的工藝設備安裝&調試廠家，期待與您的合作。